氣相沉積爐是很多人都聽說過的一個設備,但是可能大家并不了解氣相沉積爐究竟是什么,那么下面就和咸陽陶瓷研究院一起來看一下吧。
氣相沉積爐的作用是在高溫下氣相反應,例如,金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解,氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。
氣相沉積爐這種技術剛開始發展時是作為涂層的手段而開發的,但是目前隨著發展已經不只是應用于耐熱物質的涂層了,現在應該已經應用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導體薄膜等,是一個還比較廣泛的領域。
氣相沉積爐的特征在于:高熔點物質能夠在低溫下合成;析出物質的形態在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;不僅可以在基片上進行涂層,而且可以在粉體表面涂層等。在低溫下可以合成高熔點物質。
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圖為氣氛回轉爐