氣相沉積爐使用等溫或熱梯度工藝實(shí)現(xiàn)致密化。將待處理的物體放置在相應(yīng)的腔室中，并下沉放入高溫爐的熱區(qū)。在蓋子被下放進(jìn)入爐中并密封之前，所有的氣體、水和電氣和工藝儀器應(yīng)連接到位。接下來高溫爐排空氣體并加熱到約1000°C。然后引入天然氣或甲烷等烴類氣體。氣體擴(kuò)散進(jìn)入預(yù)制件，分成成分分子，將熱解碳沉積進(jìn)入預(yù)制件填充空隙。加熱和供應(yīng)沉積氣體的工藝順序自動化進(jìn)行。在等熱過程中，預(yù)制件保持這一均勻溫度30~40天，直到獲得預(yù)期的復(fù)合材料密度和孔隙率。

氣相沉積爐系雙壁設(shè)計(jì)，可以在運(yùn)行期間用水冷卻。電力電纜較粗，也可用水冷卻。實(shí)際的蒸餾器位于高溫爐內(nèi)部，而且通過石墨感應(yīng)或電阻加熱器加熱到2200~2900°C。

因?yàn)樵O(shè)備尺寸和重量均較大，所以每個(gè)部件均采用托盤和板條箱包裝。大型蓋子、電源和爐體通常已內(nèi)置有起吊點(diǎn)或環(huán)，以方便設(shè)備的搬動和組裝。

氣相沉積爐用于將碳注入到火箭噴管或再入飛行器(RV)鼻錐的多孔碳預(yù)制件中。這種稱為致密化的工藝有效消除了預(yù)制件中的空隙，從而增加被處理物體的機(jī)械和物理特性。碳碳復(fù)合材料的最終特性在很大程度上取決于預(yù)制件中碳纖維的類型和方向以及致密化使用的工藝參數(shù)。

氣相沉積)爐用于制造碳-碳火箭噴管和鼻錐。碳-碳制件重量輕、強(qiáng)度大，可以提升系統(tǒng)性能。還可用于為光學(xué)器件涂覆涂層；為航空航天制動系統(tǒng)摩擦材料和切削刀具致密;精密表面增加涂層和拋光;以及半導(dǎo)體生產(chǎn)。