KY-R-LQC400-6M型CVD爐是一種特殊的高真空CVD系統，是高校、研究所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想設備。設備采用雙層殼體結構，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C。保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能，減少熱量的損失。同時采用輕質爐膛，熱效率高，能耗低，爐內溫度均勻性好，可延長設備的使用效率。
KY-R-LQC400-6M型CVD爐產品特點
爐內密封性及佳，可通入氮氣、乙炔、甲烷、丙酮等混合氣體。
組合進料方式，進料量精準控制。
配置電子流量計、蠕動泵;爐內溫度、壓力、流量自動控制。
輕質爐膛，熱效率高，能耗低，爐內溫度均勻性好。
PLC全自動控制整套工藝過程，通過觸摸屏操作簡潔直觀。
運行平穩， 宜維護，設備大小可根據需求非標定制。
KY-R-LQC系列連續式CVD爐技術參數
KY-R-LQC系列間歇式CVD爐技術參數
