咸陽(yáng)陶瓷研究院從事氣相沉積爐研發(fā)、生產(chǎn)多年，我公司生產(chǎn)的化學(xué)氣相沉積爐主要用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8\CH4等）為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理。

此款氣相沉積爐的特點(diǎn)：

化學(xué)氣相沉積爐采用的控制技術(shù)，能精密控制氣體的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；

同時(shí)采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；

氣相沉積爐采用防腐蝕真空機(jī)組設(shè)計(jì)，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，生產(chǎn)效率高，維修率低。